中效袋式過濾器主要運用于較高精密場所如:潔凈室半導(dǎo)體、IC、晶圓、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品、國家重點實驗制造、超凈工作臺、FFU層流罩、其它精密設(shè)備等;主要用于過濾0.3um以下的空氣懸浮顆粒,作為各種過濾系統(tǒng)的末端過濾。
中效袋式過濾器各項要求也*為嚴格,出廠需逐臺檢測。要延過濾器的使用壽命,*根本的辦法是將灰塵擋在預(yù)過濾器。更換預(yù)過濾一般無須停產(chǎn)、無須調(diào)試,所以有經(jīng)驗的使用部門會把注意力和**放在預(yù)過濾器上。對于10000級和100000級潔凈廠房。預(yù)過濾可選用F8過濾器(比色法95%),這樣,末端高效過濾器的使用壽命一般可達五年。在國外項目中和國內(nèi)新項目中,F(xiàn)8過濾器是非均勻流潔凈室*常見的預(yù)過濾器。對于芯片廠100級,10級或更**別的潔凈廠房,預(yù)過濾器的常見效率級別為H10(MPPS85%),許多新項目索性選用HEPA(對0.3um粒子的效率≥99.97%)。在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計中,過濾器常見配置為:粗效→中效→高效。那時高效過濾器的使用壽命僅為1—3年,*差的也就幾個月??梢?,預(yù)過濾器的效率高低決定末端過濾器使用的壽命。
型號 |
外形尺mm 長×寬×高 |
額定風量 M3/H |
容塵量 g |
風速 m/s |
初阻力 pa |
終阻力 pa |
效率 0.1-0.2um |
RST-HU |
610*610*50 |
470 |
±450 |
0.35 |
≤170 |
400 |
99.995% |
RST-HU |
915*610*50 |
700 |
±700 |
0.35 |
|||
RST-HU |
610*610*69 |
600 |
±600 |
0.45 |
|||
RST-HU |
915*610*90 |
900 |
±900 |
0.45 |
|||
RST-HU |
610*610*90 |
800 |
±800 |
0.60 |
|||
RST-HU |
915*610*90 |
1200 |
±1200 |
0.60 |
|||
RST-HU |
1220*610*100 |
1600 |
±1600 |
0.60 |
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